產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：Pura
  • 產(chǎn)品廠商：英國(guó)Michell露點(diǎn)傳感器
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
詳情介紹：

Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀


Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的頭個(gè)適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。

Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀技術(shù)指標(biāo)

Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀傳感器
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
壓力 *低 10-9 torr; *大 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源 通常 24 V DC, *低10 V ~ *高28 V , *大電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
*大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯(cuò)狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀機(jī)械性能
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作
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